MEMS用ガラスウェハ

                    

프로덕트6-1

“MEMS用ガラスウェハ” –貫通穴、掘り込みタイプ

ヤマト電子は独自の成形技術を用いて、超精密なガラスウェハを製作することが出来ます。

[ 作製可能スペック]

外寸 9インチ以下
穴間隔 2.85mm以上
穴深さ 0.3mm以上
穴径 φ0.5mm、□0.7mm以上
穴部 抜き勾配:10°以上(5°開発中)
ガラス材質 テンパックス、ソーダライム等